(1)啟動(dòng)前檢查電氣系統(tǒng)、各真空泵、各真空閥、機(jī)械、測量、壓縮空氣、冷卻系統(tǒng)等。合上總電源,通水,啟動(dòng)空氣壓縮機(jī)。啟動(dòng)機(jī)械真空泵,天冷時(shí)要斷續(xù)啟動(dòng)。
(2)機(jī)械真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常后,打開低真空閥。開低真空測量,待達(dá)到要求壓力時(shí)開預(yù)抽閥,加熱擴(kuò)散泵,50min后投入工作。關(guān)閉低真空閥,打開主閥。
(3)低真空達(dá)到一定真空度后,進(jìn)行高真空測量。當(dāng)高真空達(dá)到要求真空度后,即可接通電源開始工作。