酸性清槽劑
一、產(chǎn)品特性
目前、碳酸鉀廣泛使用于干膜制程,由于槽液含有大量碳酸根,當(dāng)其結(jié)合水中鈣、鎂離子,產(chǎn)生固體沉淀,此白色沉淀不僅附著在槽壁,同時(shí)亦阻塞管路與噴嘴,容易造成顯影不良等后遺癥,重者將破壞設(shè)備降低設(shè)備壽命。
酸性清槽劑為單液型,針對(duì)上述制程困擾研發(fā),能有效清除干膜槽沉淀固體,并可溶解干膜槽中的油性物質(zhì),定期清槽可有效確保生產(chǎn)質(zhì)量延長設(shè)備壽命。
二、 配槽方法
酸性清槽劑 30%-70%
水 70%-30%
清槽步驟:
1、先排放掉舊顯影液,再用清水清洗10分鐘。
2、加酸性清槽劑(40%),并以清水加至標(biāo)準(zhǔn)液位。
3、升溫至40℃,噴洗1-3小時(shí)后排放此液。
4、注入清水噴洗10分鐘后排放,再用高壓水沖洗。
5、注入清水噴洗15分鐘后排放,即可完成清槽程序。
三、操作條件
1、溫度:30~40℃
2、濃度:40%
3、時(shí)間:1-3小時(shí)(視沉淀物多少而定)