進口全氟橡膠O型圈(FFKM)類似聚四氟乙烯(PTFE)材料,全氟橡膠具有優(yōu)異耐化學性和耐高溫性。普通全氟橡膠O型圈工作溫度為-250℃~240℃,特殊全氟橡膠O型圈溫度可達320℃。
優(yōu)點:耐熱性極好,優(yōu)異的抗化學特性;缺點:耐低溫較差,原料價格偏高,生產難度比較大。全氟橡膠O型圈廣泛地運用于半導體產業(yè)及信息相關產業(yè)所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
全氟O型圈的溝槽設計
1、進口全氟O型圈的壓縮變形量
全氟O型圈的使用經驗表明,安裝后推薦壓縮量為12%-18%,有利于延長密封壽命。過大的壓縮變形可能導致O型圈破裂、擠出、特別是當O型圈在高溫環(huán)境中工作時,此時的熱膨脹是主要考慮因素。
當O型圈的工作溫度低于0℃的時候,應該使用特別的壓縮量,此時安裝后推薦壓縮量為15%-21%。當O型圈處于循環(huán)溫度環(huán)境,(從低溫到高溫》149℃)中時,高壓縮量存在著潛在的風險,必須在兩者之間有一個平衡。
2、O型圈的拉伸
為了獲得適當的密封性能即延長密封壽命,安裝時拉伸1%-3%是比較適當的,大可到5%。拉伸量過小可能會導致O型圈安裝不穩(wěn),過大則可能會導致O型圈斷裂或承受較高的內部應力(Gow-Joule效應)而導致過早失效。
3、熱膨脹
在25-250℃的溫度范圍內,全氟橡膠線膨脹系數是3.2*10-4℃-1。轉化成體積熱膨脹后全氟橡膠大體上比氟橡膠大75%。當在高溫環(huán)境中應用時,就必須考慮這個膨脹因素,否則將導致密封件過早的失效。
當設計一個密封系統(tǒng)時,標準的溝槽設計時設計的起點。在多數情況下,溝槽空間或許對全氟O型圈來說是充分的,然而當遇到高溫工況時,溝槽體積就可能會滿足不了O型圈的膨脹,此時O型圈會從溝槽間隙擠出,或沿著圓周方向將密封件劈開(多數情況下是延分模面裂開)。在遇到這兩種情況時,就要考慮增加溝槽體積來適應O型圈熱膨脹效應。
進口全氟O型圈的安裝
1、潤滑
彈性體密封安裝過程中,通過使用潤滑油脂可以減小磨損和卡咬。一般來說,薄薄的潤滑膜對于安裝O型圈來說是必須的,因為全氟密封件用于惡劣工況中,潤滑油能夠提高密封件的耐高溫碳化破裂能力。在多數情況下,使用被密封的介質當做潤滑油、氟化油,例如:粉末狀石墨也可以用作潤滑油。即使使用了潤滑油,密封件的安裝過程也要注意減少對O型圈的損傷。
2、拉伸
大多數全氟橡膠的扯斷伸長率在120%-170%。當安裝O型圈的時候,必須注意伸長率這個數據,防止超出扯斷伸長率而導致O型圈斷裂。一般來說,安裝O型圈的拉伸程度應控制扯斷伸長率的50%以內,如果遇到很難安裝的狀況時,應先將O型圈置于熱水中軟化,正確的安裝方法可以避免密封件的損傷。