微量氣體流量計(jì)、超小氣體流量傳感器廣州、微小氣體流量計(jì)
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微量氣體流量計(jì)、超小氣體流量傳感器廣州、微小氣體流量計(jì)
產(chǎn)品屬性
詳細(xì)信息 廣東微型氣體流量傳感器|廣州氣體流量傳感器|廣州微小氣體傳感器
HFS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
? 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
? 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
? 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
? 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
? 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
? 低功耗、低壓損
? 響應(yīng)速度快
型號：HFS4001
流量范圍：0～30,100,200,500,1000, sccm
量程比：>100：1
精度：±（1.5±0.5FS）%
重復(fù)性：±0.25%
零點(diǎn)輸出飄逸：±30 mV
輸出飄逸：0.2 %/oc
響應(yīng)時(shí)間：4，8，16，33，65，131 ms
工作電源：8~18Vdc,50mA
輸出方式：RS232,模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損：350 300 Pa
大流量壓力：0.5 MPa
工作溫度：-5~+55 oC
存儲溫度：-20~+65 oC
工作濕度：
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