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六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應(yīng)用于電器工業(yè)，如：斷路器、高壓開關(guān)、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。
冷凍工業(yè)作為致冷劑，致冷范圍可在-45℃～0℃之間。電氣工業(yè)利用其很高介電強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。采礦工業(yè)用作反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。
SF6還因其化學(xué)惰性、無毒 、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應(yīng)用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護(hù)氣體）、航空航天、醫(yī)療（Ｘ光機(jī)、激光機(jī)）、氣象（示蹤分析）、化工（汽車輪胎、新型滅火器）等。
電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。
隨著當(dāng)今科技的發(fā)展，SF6涉及的領(lǐng)域不斷擴(kuò)展，被越來越多的基礎(chǔ)領(lǐng)域和科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。[5]
主要用于高壓開關(guān)中滅弧,在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用。可在核粒子加速器及避雷器X射線設(shè)備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好,對設(shè)備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45～0℃之間),SF6對α-粒子有高度的停止能力,故在放射化學(xué)中也有應(yīng)用;也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧
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