產(chǎn)品描述
品牌/廠家 | 金谷氣體 | 化學(xué)名稱 | 二氯二氫硅 |
產(chǎn)品等級(jí) | 99.9 | 分子式 | 43 |
相對(duì)分子質(zhì)量 | 2 | 物理狀態(tài) | 液態(tài) |
含量 | 99.9% | 用途 | 半導(dǎo)體、光纖、化工、電力、機(jī)械、光電、食品工業(yè)和科研領(lǐng)域。 |
CAS | 3346-89 | 性狀 | 無(wú) |
安全性 | 無(wú) | 包裝規(guī)格 | 無(wú) |
注意事項(xiàng) | 無(wú) | 儲(chǔ)存方法 | 無(wú) |
產(chǎn)地 | 無(wú) |
二氯二氫硅 (SiH2Cl2)
項(xiàng)目名稱
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純度指標(biāo)(%) | |
二氯二氫硅 |
≥99.7
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雜質(zhì)含量(ppm)
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一氯甲硅烷(CH5ClSi)
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≤800 |
三氯氫硅(SiHCl3) |
≤2000
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≤300 | |
惰性氣體(Inert Gases) |
≤1000
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其他(Others)
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≤2
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包裝:采用44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途:用作電子氣、外延、化學(xué)氣相淀積。
理化性質(zhì): 二氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無(wú)色有毒氣體。空氣中易燃,100℃以上能自燃,燃燒氧化后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時(shí)會(huì)自行分解而生成、氯、氫和不定性硅。施以強(qiáng)烈撞擊時(shí)也會(huì)自行分解。在濕空氣中產(chǎn)生腐蝕性煙霧。遇水水解生成和聚硅氧烷(SiH2O)4??扇苡凇⒚押团c堿、、起反應(yīng)。即使接觸小量鹵素或其它氧化劑也會(huì)發(fā)生激烈反應(yīng)。與三烷基胺、吡啶形成加成化合物。與三氟化銻反應(yīng)生成氟硅烷。
器、氨或本身 注意事項(xiàng):氣體用鋼瓶貯裝,鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)的室外或強(qiáng)制通風(fēng)的室內(nèi),要遠(yuǎn)離氧化劑、火源和熱源。設(shè)備管道等使用前須脫水和密封??捎煤ぬ铰?/span>的窒息性氣味來(lái)檢漏。所有設(shè)備管道要接地。設(shè)備或裝置暫時(shí)不用或延長(zhǎng)停產(chǎn)時(shí)間時(shí),應(yīng)把二氯硅烷放出來(lái),充入干燥的惰性氣體。有水分時(shí)二氯硅烷呈強(qiáng)酸性,腐蝕性極強(qiáng)。對(duì)無(wú)水二氯硅烷可用鐵、低合金鋼、鎳鋼、銅鎳合金、鎳、海帕倫、蒙乃爾、銀、金、鉑、鉭。不能用鋁、鋁合金、銅硅合金、黃銅等??梢杂镁鬯姆蚁?、聚三氟氯化乙烯聚合體、天然橡膠、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時(shí),首先要關(guān)閉氣瓶閥,斷絕氣源。滅火時(shí),如果用水,則產(chǎn)生大量氯化氫,如果用堿性粉末,則產(chǎn)生,因此這兩者都不可用??梢杂枚趸己蜕白印U氣可用水或苛性鉀等堿液吸收,可以用相應(yīng)的吸附劑吸附,也可以在嚴(yán)格控制下燃燒。
二氯二氫硅氣體